½üÈÕ£¬×ðÁú¹ÙÍøµÇ¼ÈËÉú¾ÍÊDz©µÇ¼£¨¼ò³Æ¡°×ðÁú¹ÙÍøµÇ¼ÈËÉú¾ÍÊDz©µÇ¼¡±£¬¹ÉƱ´úÂ룺688120£©µÚ500̨12Ó¢´çCMP×°±¸³ö»ú·¢Íù¹úÄÚÏȽøµÄ°ëµ¼ÌåоƬÖÆÔìÆóÒµ¡£µÚ500̨װ±¸Ë³Àû³ö»ú×÷Ϊ¹«Ë¾Éú³¤Àï³Ì±®²»½öÕÃÏÔÁË¿Í»§¶Ô¹«Ë¾×¿Ô½ÊµÁ¦µÄ¿Ï¶¨£¬Ò²ÌåÏÖ׿¯³Éµç·¹¤Òµ¶Ô×ðÁú¹ÙÍøµÇ¼ÈËÉú¾ÍÊDz©µÇ¼12Ó¢´çCMPϵÁÐ×°±¸ÐÔÄܼ°Æ·Öʵĸ߶ÈÐÅÀµ¡£
»¯Ñ§»úеÅ׹⣨CMP£©ÊÇÏȽø¼¯³Éµç·ÖÆÔìÇ°µÀ¹¤Ðò¡¢ÏȽø·â×°µÈ»·½Ú±ØÐëµÄÒªº¦ÖƳ̹¤ÒÕ¡£´ÓÍƳö¹úÄÚÊ×̨ӵÓÐ×ÔÖ÷֪ʶ²úȨµÄ12Ó¢´çCMP×°±¸£¬ÊµÏÖÁ˹úÄÚÊг¡CMP×°±¸ÁìÓòµÄ¹ú²úÌæ´ú£¬µ½Èç½ñµÄµÚ500̨˳Àû³ö»ú£¬³ÉΪÖ÷Á÷¿Í»§µÄÓÅÏÈÑ¡Ôñ£¬×ðÁú¹ÙÍøµÇ¼ÈËÉú¾ÍÊDz©µÇ¼ÔÚÖúÁ¦¹¤ÒµÉú³¤Öв½ÂIJ»Í££¬¼á³Ö×ÔÖ÷Ñз¢¡¢¼áÊØ׿ԽÖÊÁ¿¡¢¼á¶¨´´ÐÂÉú³¤£¬ÊµÏÖÁ˲úÎïµÄµü´úÉý¼¶£¬Òѵ½´ï¹úÄÚÁìÏȼ°¹ú¼ÊÏȽøˮƽ¡£
×ðÁú¹ÙÍøµÇ¼ÈËÉú¾ÍÊDz©µÇ¼CMP×°±¸Äܹ»ÔÚ±£Ö¤¸ßЧÂʵÄͬʱ£¬ÊµÏָ߾«¶ÈµÄÅ×¹âЧ¹û£¬ÏÖÒÑÍƳöUniversal-300ϵÁС¢Universal-200ϵÁС¢Universal-150ϵÁУ¬²úÎïÒÀÍÐÓÚÏȽøµÄÒªº¦ºËÐļ¼ÊõÓ뼯³É½â¾ö·½°¸£¬ÅúÁ¿½øÈëÐÐÒµÖªÃûоƬÖÆÔìÆóÒµ£¬Òѹ㷺ӦÓÃÓÚÂ߼оƬ¡¢´æ´¢Ð¾Æ¬¡¢ÏȽø·â×°¡¢´ó¹èƬ¡¢MEMS¡¢µÚÈý´ú°ëµ¼ÌåµÈÁìÓò¡£
×ðÁú¹ÙÍøµÇ¼ÈËÉú¾ÍÊDz©µÇ¼¸ß¶ÈÖØÊÓÑз¢ÍŶӵÄÅàÑøºÍ½¨É裬´´ÐÂÑз¢ÄÜÁ¦²»Í£ÔöÇ¿£¬×°±¸ÀàÐÍÁ¬ÐøÍØ¿í£¬³ýCMP×°±¸Í⣬¼õ±¡×°±¸¡¢Êª·¨×°±¸ÒÔ¼°ÕÉÁ¿×°±¸µÈ½Ðø·¢ÍùоƬÖÆÔìÆóÒµ£¬ÀֳɻñµÃ¿Í»§¸ß¶ÈÈÏ¿É£¬Í¬Ê±£¬¾§Ô²ÔÙÉú·þÎñÓëºÄ²Äά±£·þÎñÆëÍ·²¢½ø¡¢ÔöËÙÏÔÖø£¬ÊÕ»ñÁËÒ»ÖºÃÆÀ¡£×ðÁú¹ÙÍøµÇ¼ÈËÉú¾ÍÊDz©µÇ¼´òÔìÁË¡°×°±¸+·þÎñ¡±µÄƽ̨»¯Õ½ÂԽṹ£¬Õë¶Ô¿Í»§ÐèÇó½øÐж¨ÖÆ»¯Éè¼Æ£¬È·±£Âú×ã¶àÁìÓòʹÓÃÐèÇó£¬ÖÂÁ¦ÓÚΪ¿Í»§Ìṩ¸üÊʺϡ¢¸üÓÅÐã¡¢¸ü¸ßЧµÄ¼¯³É½â¾ö·½°¸¡£
×ÔÇ¿³É¾Í׿Խ£¬´´ÐÂËÜÔìδÀ´¡£×ðÁú¹ÙÍøµÇ¼ÈËÉú¾ÍÊDz©µÇ¼Óµ£Ê±´úÖØÈΣ¬¼á³Ö¡°ËĸöÃæÏò¡±µÄÕ½ÂÔµ¼Ïò£¬ÒÔ´´ÐÂÇý¶¯¸ßÖÊÁ¿Éú³¤£¬×ÅÁ¦´òÔìÏȽø¸ß¶Ë°ëµ¼Ìå×°±¸Óë½â¾ö·½°¸£¬¼á³Ö¿ª·ÅºÏ×÷¡¢»¥Àû¹²Ó®£¬ÖúÁ¦°ëµ¼Ì幤ҵÅÉú³¤£¬Îª¿Æ¼¼Ç¿¹ú½¨Éè×ö³öÓ¦ÓÐТ¾´£¡